CÔNG NGHỆ VI HỆ THỐNG CƠ ĐIỆN TỬ

Tác giả: Vũ Ngọc Hùng

Năm XB: 2016

NXB: Bách khoa Hà nội

Vi hệ thống cơ điện tử là lĩnh vực công nghệ cao và có tầm quan trọng trong ứng dụng cuộc sống vì vậy chương trình này được đưa vào giảng dạy ở nhiều cơ sở đào tại hàng đầu trong nước như trường Đại học Bách khoa HN, Đại học Quốc gia HN…

Giáo trình “Công nghệ vi hệ thống cơ điện tử” được sử dụng cho các học viên cao học của ngành khoa học và công nghệ vât liệu điện tử. Sách cũng là tài liệu tham khảo cho sinh viên các ngành như Vật lý kỹ thuật Cơ khí và Điện tử viễn thông.  

Sách gồm 8 chương với nội dung sau:

Chương 1: Vấn đề tỷ lệ kích thước

Chương 2: Phương pháp khắc bức xạ

Chương 3: Kỹ thuật khắc nhô

Chương 4: Kỹ thuật chế tạo màng mỏng

Chương 5: Công nghệ vi cơ khối ướt

Chương 6: Công nghệ vi cơ bề mặt

Chương 7: Công nghệ Liga

Chương 8: Công nghệ đóng gói.

Xin trân trọng giới thiệu!