CÔNG NGHỆ VI HỆ THỐNG CƠ ĐIỆN TỬ
Tác giả: Vũ Ngọc Hùng
Năm XB: 2016
NXB: Bách khoa Hà nội
Vi hệ thống cơ điện tử là lĩnh vực công nghệ cao và có tầm quan trọng trong ứng dụng cuộc sống vì vậy chương trình này được đưa vào giảng dạy ở nhiều cơ sở đào tại hàng đầu trong nước như trường Đại học Bách khoa HN, Đại học Quốc gia HN…
Giáo trình “Công nghệ vi hệ thống cơ điện tử” được sử dụng cho các học viên cao học của ngành khoa học và công nghệ vât liệu điện tử. Sách cũng là tài liệu tham khảo cho sinh viên các ngành như Vật lý kỹ thuật Cơ khí và Điện tử viễn thông.
Sách gồm 8 chương với nội dung sau:
Chương 1: Vấn đề tỷ lệ kích thước
Chương 2: Phương pháp khắc bức xạ
Chương 3: Kỹ thuật khắc nhô
Chương 4: Kỹ thuật chế tạo màng mỏng
Chương 5: Công nghệ vi cơ khối ướt
Chương 6: Công nghệ vi cơ bề mặt
Chương 7: Công nghệ Liga
Chương 8: Công nghệ đóng gói.
Xin trân trọng giới thiệu!